辅助气体对金刚石膜形貌、品质和生长率的影响
不同辅助气体(O2.CO2. N2或Ar等)的引入对金刚石膜的生长有很大的影响。其中引入最多的就是辅助气体O2,由于O2的引入会离解出氧基团,该基团可以对膜层中的非金刚石相进行刻蚀,有利于提高金刚石膜的质量。其次,也有科技工作者尝试添加CO2辅助气体,研究表明,CO2的添加不仅可以提高膜层质量,还可以促进其生长。而诸如其他辅助气体N2或Ar适量的引入可以改变等离子基团的种类,进而影响金刚石的生长。所以辅助气体引入的研究显得十分必要。
2023-06-081739